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文章来源:半导体与物理 原文作者:jjfly686 本文通过图文并茂的方式生动展示了MOSFET晶体管的工艺制造流程,并阐述了芯片的制造原理。 MOSFET的工艺流程 芯片制造工艺流程包括光刻、刻蚀、扩散、薄膜、离子注入、化学机械研磨、清洗等等,在前面的文章我们简要的介绍了各个工艺流程的细节,这篇文章大致讲...
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